泰州市永增金属制品有限公司申请半导体设备零部件清洁装置专利避免清洁箱气体泄漏半岛官网
时间:2024-12-12 03:51:42半岛bandao体育金融界2024年12月11日消息,国家知识产权局信息显示,泰州市永增金属制品有限公司申请一项名为“一种半导体设备零部件的清洁装置”的专利,公开号 CN 119098441 A,申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体设备零部件的清洁装置,包括支架,所述支架的底部固定连接有清洁箱,所述清洁箱的外表面滑动连接有密封板,还包括:吹气管,该吹气管固定连接在清洁箱底部,所述清洁箱的内腔底部固定连接有输送带;清洁组件,该清洁组件固定连接在清洁箱顶部;冷凝组件,该冷凝组件固定连接在清洁箱外表面,所述冷凝组件的外表面固定连接有固定板,所述冷凝组件远离固定板的位置连通有过滤组件,本发明涉及半导体设备技术领域。该半导体设备零部件的清洁装置,避免了清洁箱进行零部件清洁时发生气体泄漏的情况,便于吹气管在设备启动前后进行灰尘的清除,防止清洁箱内部因长时间清洁导致脏污,使得冷凝组件能够对清洁气体进行冷凝处理。
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